近日，MicroOLED、OLED照明量產所使用的欣奕華 G2蒸鍍設備樣機宣布完成進一步調試工作，將于今年內推向市場，填補小尺寸OLED蒸鍍設備的國產化市場空白。

OLED蒸鍍機是生產OLED面板的核心設備之一，無論時下火熱的華為P40、OPPO find X2、一加8，還是三星GALAXY Quantum，都與它有著脫不開的聯系。智研咨詢發布《2020-2026年中國OLED面板行業市場專項調研及投資前景分析報告》顯示，2020年OLED市場規模達到343億美元，單位出貨量增速將在2020年到達頂峰。在OLED技術借道手機市場全面爆發的背后，生產OLED面板的關鍵設備——OLED蒸鍍機長期被日韓企業壟斷。如何克服上游核心設備的缺失，是困擾中國顯示產業發展的痛點。

OLED在生產工藝環節需要前、中、后三道工藝。其中，對應的三大核心工藝技術分別為LTPS驅動電路、OLED蒸鍍工藝和薄膜封裝工藝，OLED蒸鍍是制約OLED面板良率，進而影響產能的關鍵。賽迪智庫2019年10月整理公開數據顯示，截止2018年，OLED蒸鍍設備的主要生產商為日本佳能Tokki，市場占有率達到90%。據悉，佳能Tokki每年產能的90%均被三星包攬，OLED蒸鍍設備一機難求已成為了限制國內面板廠商擴大OLED產能的重要原因。

以往，三星和LG Display的產線增建導致OLED蒸鍍設備幾乎被買斷。近幾年，隨著韓國企業OLED產線的投資滯緩，京東方、維信諾、深天馬、信利等面板廠商才陸續采購到OLED蒸鍍機，逐步提升良品率。截至2018年底，京東方成都6代線綜合良品率達到70%;2019年11月，維信諾昆山5.5代線綜合良率達90%。預計到2021年，國內面板廠商生產剛性和柔性OLED面板才能與三星良品率基本持平。可見，OLED蒸鍍機是制約行業發展的瓶頸。

欣奕華自主研發的國產OLED蒸鍍機正是在這樣的背景下應運而生。“我國雖然已成為全球OLED面板生產的主產地之一，但是上游設備企業在裝備領域依然集中在中低端和非關鍵設備的生產制造階段。”欣奕華智能機器事業群總經理李清生說，“國內建了很多OLED產線，但是OLED蒸鍍機在內的裝備基本都依賴進口。欣奕華希望能夠抓住機遇，幫助客戶，為中國顯示產業做出自己的一些貢獻。”

事實上，核心技術的攻克并不簡單。如果說OLED蒸鍍機是OLED面板制作工藝的心臟，那么OLED蒸發源相當于心臟的心房。OLED蒸發源根據宏觀形狀的不同可以粗略地分為點型蒸發源和線型蒸發源。為了滿足厚度均一性，點型蒸發源材料利用率不高，部分材料蒸鍍時容易出現clogging或噴濺;線型蒸發源由于在坩堝加熱及傳遞過程中不同位置的熱量和溫度存在差異，使得蒸發源不同位置的有機氣體分子的熱動能不一致，從而使不同位置的噴嘴噴出有機分子的蒸鍍速率不同，導致鍍膜的厚度均勻性差;更不要提在對玻璃基板各子像素進行鍍膜時，為了鍍膜位置的精確性，在每道工序開始前都要先對基板進行精密對位，該問題也是導致整個OLED面板良率不足的關鍵.....這一個個問題都是欣奕華OLED蒸鍍設備研發項目團隊必須解決的。

“核心技術得掌握在我們手中”，欣奕華智能機器事業群OLED事業本部負責人曹景博說，“我們努力的目的就是為了解決OLED蒸鍍機研發中的難題。”經過無數個日日夜夜的研究、探索、實踐，欣奕華研發團隊最終形成了完善的OLED技術研發體系，突破OLED蒸發源、OLED對位系統等多項關鍵核心技術。其自主研發的OLED點型和線型蒸發源，已經交由客戶驗證通過，成功導入面板龍頭企業的量產線。

據了解，佳能Tokki OLED蒸鍍機被人提及最多的就是精度，把OLED有機發光材料精準地蒸鍍到基板上，佳能Tokki 可以把誤差控制在3um之內。對此，曹景博自豪地說：“欣奕華OLED蒸鍍機對位系統(包含G6H、G2.5、G1)的對位精度已達到國際先進水平，部分機型甚至做到了國際領先，對位精度可控制在1.5um以內。”

據悉，欣奕華于2015年正式啟動了OLED蒸鍍系統關鍵技術研發項目，公司建成了3萬平米的OLED蒸鍍機研制潔凈車間，擁有各類先進研發設備和儀器20余臺套，組建了一支國際化高端人才團隊，形成了完善的OLED技術研發體系，在蒸發源、真空腔體、高精密對位、封裝、工藝控制技術等方面，相關技術水平已達到國際先進水平，正在逐步追趕國外領先OLED設備制造企業。

目前，欣奕華自主開發了第一款國產化G1 OLED蒸鍍機(玻璃基板尺寸200*200mm)，并已通過安徽省新產品鑒定。“該產品可根據客戶需求選擇精密對位或機械對位方式，對應OLED器件研發與材料驗證。我們的G1 OLED蒸鍍機通過了上海某高校教育部國家重點實驗室裝備測試，于2017年交付使用。此外，浙江和上海的兩家OLED材料企業在采購了我們G1 OLED蒸鍍機后，都給予了很高的評價。”曹景博說。據悉，欣奕華還是國內首家開發出G2.5(玻璃尺寸370mmx470mm)Cluster蒸鍍機和12寸AR/VR(Wafer直徑300mm)蒸鍍機的企業，進一步填補了國內自主研發可量產OLED蒸鍍機此種機型的空白。

欣奕華能夠在OLED蒸鍍設備研發、生產、市場化過程中得以快速發展，得益于國家層面的高度重視以及對OLED產業的規范化引導。特別是《“十二五”國家戰略性新興產業發展規劃》中明確提出“加快推進OLED等新一代顯示技術研發和產業化”，一系列相關政策陸續出臺，鼓勵和支持OLED設備、工藝及材料等方面的創新發展。未來，欣奕華將繼續扎根泛半導體產業高端裝備制造領域，為我國OLED面板制造企業提供國產化高性能的蒸鍍系統，為提升我國顯示產業上游核心裝備的技術水平奮斗。

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